1. Masinių dujų sistemos apibrėžimas:
Inertinių dujų laikymas ir slėgio kontrolė Dujų tipai: Tipinės inertinės dujos (azotas, argonas, suslėgtas oras ir kt.)
Dujotiekio dydis: nuo 1/4 (stebėjimo vamzdynas) iki 12 colių pagrindinio dujotiekio
Pagrindiniai sistemos produktai yra: membraninis vožtuvas / silfoninis vožtuvas / rutulinis vožtuvas, didelio grynumo jungtis (VCR, suvirinimo forma), antgalio jungtis, slėgio reguliavimo vožtuvas, manometras ir kt.
Šiuo metu į naująją sistemą įtraukta ir birių specialiųjų dujų sistema, kurios saugojimui ir transportavimui naudojami stacionarūs dujų balionai arba autocisternos.
2. Valymo sistemos apibrėžimas:
Priemaišų pašalinimas iš birių dujų didelio grynumo dujotiekiams
3. Dujų spintos apibrėžimas:
Suteikti specialių dujų šaltinių (toksiškų, degių, reaktyvių, ėsdinančių dujų) slėgio kontrolę ir srauto stebėjimą bei galimybę pakeisti dujų balionus.
Vieta: Sub-fab aukšte arba apatiniame aukšte specialioms dujoms laikyti Šaltinis: NF3, SF6, WF6 ir kt.
Dujotiekio dydis: vidinis dujotiekis, paprastai 1/4 colio proceso vamzdynui, 1/4–3/8 colio, daugiausia didelio grynumo azoto valymo vamzdynui.
Pagrindiniai produktai: didelio grynumo diafragminiai vožtuvai, atbuliniai vožtuvai, manometrai, manometrai, didelio grynumo jungtys (VCR, suvirinimo forma) Šiose dujų spintose iš esmės yra automatinio balionų perjungimo galimybės, užtikrinančios nuolatinį dujų tiekimą ir saugų balionų keitimą.
4. Paskirstymo apibrėžimas:
Dujų šaltinio prijungimas prie dujų surinkimo gyvatuko
Linijos dydis: drožlių gamykloje birių dujų paskirstymo vamzdyno dydis paprastai svyruoja nuo 1/2 colio iki 2 colių.
Sujungimo forma: specialūs dujotiekiai paprastai jungiami suvirinant, be jokio mechaninio sujungimo ar kitų judančių dalių, daugiausia dėl to, kad suvirinimo jungtis turi tvirtą sandarinimo patikimumą.
Skiedrų gamykloje dujoms perduoti yra prijungta šimtai kilometrų vamzdžių, kurie iš esmės yra apie 20 pėdų ilgio ir suvirinti kartu. Kai kurie vamzdžių vingiai ir vamzdinės suvirinimo jungtys taip pat yra labai dažni.
5. Daugiafunkcinė vožtuvų dėžė (Valve Manifold Box, VMB) Apibrėžimas:
Jis skirtas paskirstyti specialias dujas iš dujų šaltinio į skirtingus įrangos galus.
Vidinis dujotiekio dydis: 1/4 colio proceso dujotiekis ir 1/4–3/8 colio valymo vamzdynas. Sistema gali naudoti kompiuterinį valdymą, kad reikalautų įjungti vožtuvų arba mažesnėmis sąnaudomis naudojant rankinius vožtuvus.
Sistemos produktai: didelio grynumo diafragminiai vožtuvai / silfoniniai vožtuvai, atbuliniai vožtuvai, didelio grynumo jungtys (VCR, mikrosuvirinimo forma), slėgio reguliavimo vožtuvai, manometrai ir manometrai ir kt. Kai kurioms inertinėms dujoms paskirstyti vožtuvų kolektoriaus skydas - Daugiausia naudojamas VMP (daugiafunkcinis vožtuvo diskas), kuris turi atvirą dujų disko paviršių ir nereikalauja uždaros erdvės konstrukcijos bei papildomo azoto prapūtimo.
6. Antrinio vožtuvo plokštės / dėžutės (įrankių prijungimo skydelio) apibrėžimas:
Prijunkite puslaidininkinei įrangai reikalingas dujas nuo dujų šaltinio prie įrangos galo ir užtikrinkite atitinkamą slėgio reguliavimą. Šis skydelis yra dujų valdymo sistema, kuri yra arčiau įrangos galo nei VMB (daugiafunkcinė vožtuvų dėžė).
Dujotiekio dydis: 1/4 - 3/8 colio
Skysčio vamzdyno dydis: 1/2–1 colio
Išleidimo vamzdyno dydis: 1/2 - 1 colis
Pagrindiniai produktai: diafragminis vožtuvas / silfoninis vožtuvas, vienpusis vožtuvas, slėgio reguliavimo vožtuvas, manometras, manometras, didelio grynumo jungtis (VCR, mikrosuvirinimas), įvorė, rutulinis vožtuvas, žarna ir kt.
Paskelbimo laikas: 2024-11-22