1. Tūrinių dujų sistemos apibrėžimas:
Inertinių dujų laikymas ir slėgio kontrolė. Dujų rūšys: tipinės inertinės dujos (azotas, argonas, suslėgtas oras ir kt.).
Vamzdynų dydis: nuo 1/4 (stebėjimo vamzdynas) iki 12 colių pagrindinio vamzdyno
Pagrindiniai sistemos produktai yra: diafragminis vožtuvas / silfoninis vožtuvas / rutulinis vožtuvas, didelio grynumo jungtis (VCR, suvirinimo forma), žiedinė jungtis, slėgio reguliavimo vožtuvas, manometras ir kt.
Šiuo metu naujoje sistemoje taip pat yra specialiųjų dujų birių krovinių sistema, kurioje sandėliavimui ir transportavimui naudojami stacionarūs dujų balionai arba cisternos.
2. Valymo sistemos apibrėžimas:
Priemaišų šalinimas iš birių dujų, skirtų didelio grynumo dujotiekiams
3. Dujų spintelių apibrėžimas:
Užtikrinti specialių dujų šaltinių (toksiškų, degių, reaktyviųjų, ėsdinančių dujų) slėgio kontrolę ir srauto stebėjimą bei turėti galimybę pakeisti dujų balionus.
Vieta: Įrengta rūsio aukšte arba apatiniame aukšte, skirta specialiųjų dujų laikymui. Šaltinis: NF3, SF6, WF6 ir kt.
Vamzdynų dydis: vidinis dujotiekis, paprastai 1/4 colio technologiniam vamzdynui, 1/4–3/8 colio daugiausia didelio grynumo azoto prapūtimo vamzdynui.
Pagrindiniai produktai: didelio grynumo diafragminiai vožtuvai, atbuliniai vožtuvai, slėgio matuokliai, slėgio matuokliai, didelio grynumo jungtys (VCR, suvirinimo forma). Šios dujų spintos iš esmės turi automatinio balionų perjungimo funkcijas, kad būtų užtikrintas nepertraukiamas dujų tiekimas ir saugus balionų keitimas.
4. Paskirstymo apibrėžimas:
Dujų šaltinio prijungimas prie dujų surinkimo ritės
Linijos dydis: Lustų gamykloje birių dujų paskirstymo vamzdyno dydis paprastai svyruoja nuo 1/2 colio iki 2 colių.
Jungties forma: Specialūs dujotiekiai paprastai sujungiami suvirinant, be jokių mechaninių jungčių ar kitų judančių dalių, daugiausia dėl to, kad suvirinimo jungtis turi didelį sandarumo patikimumą.
Lustų gamykloje dujoms perduoti yra sujungti šimtai kilometrų vamzdžių, kurie iš esmės yra apie 20 pėdų ilgio ir suvirinti. Taip pat labai dažni kai kurie vamzdžių lenkimai ir vamzdinių suvirinimo jungtys.
5. Daugiafunkcinė vožtuvų dėžė (vožtuvų kolektoriaus dėžė, VMB) Apibrėžimas:
Tai skirta paskirstyti specialias dujas iš dujų šaltinio į skirtingus įrangos galus.
Vidinis vamzdyno dydis: 1/4 colio proceso vamzdynas ir 1/4–3/8 colio prapūtimo vamzdynas. Sistema gali būti valdoma kompiuteriu, kad būtų reikalingi valdomi vožtuvai arba mažesnės kainos atvejais naudojami rankiniai vožtuvai.
Sistemos gaminiai: didelio grynumo diafragminiai vožtuvai/silfoniniai vožtuvai, atbuliniai vožtuvai, didelio grynumo jungtys (VCR, mikrosuvirinimo forma), slėgio reguliavimo vožtuvai, slėgio matuokliai ir slėgio matuokliai ir kt. Kai kurių inertinių dujų paskirstymui daugiausia naudojamas vožtuvų kolektoriaus skydas – VMP (daugiafunkcis vožtuvo diskas), kuris turi atvirą dujų disko paviršių ir nereikalauja uždaros erdvės konstrukcijos bei papildomo azoto prapūtimo.
6. Antrinio vožtuvo plokštė / dėžutė (įrankių prijungimo skydelis) Apibrėžimas:
Prijunkite puslaidininkinės įrangos reikalingas dujas iš dujų šaltinio prie įrangos galo ir užtikrinkite atitinkamą slėgio reguliavimą. Šis skydas yra dujų valdymo sistema, esanti arčiau įrangos galo nei VMB (daugiafunkcinė vožtuvų dėžutė).
Dujotiekio dydis: 1/4 - 3/8 colio
Skysčio vamzdyno dydis: 1/2–1 colio
Išleidimo vamzdyno dydis: 1/2–1 colio
Pagrindiniai produktai: diafragminis vožtuvas/silfoninis vožtuvas, vienkryptis vožtuvas, slėgio reguliavimo vožtuvas, manometras, manometras, didelio grynumo jungtis (VCR, mikrosuvirinimas), žiedinė jungtis, rutulinis vožtuvas, žarna ir kt.
Įrašo laikas: 2024 m. lapkričio 22 d.