As puslaidininkiso mikroelektronikos technologijos tobulėja link didesnio našumo ir didesnės integracijos, elektroninių specialiųjų dujų grynumui keliami aukštesni reikalavimai. Didelio grynumo dujų vamzdynų technologija yra svarbi didelio grynumo dujų tiekimo sistemos dalis. Tai pagrindinė technologija, skirta tiekti itin grynas dujas, atitinkančias reikalavimus į dujų naudojimo taškus, išlaikant kvalifikuotą kokybę.
Didelio grynumo vamzdynų technologija apima teisingą sistemos projektavimą, vamzdžių jungiamųjų detalių ir pagalbinių medžiagų parinkimą, konstravimą ir montavimą bei bandymus.
01 Bendroji dujų perdavimo vamzdynų koncepcija
Visos didelio grynumo ir labai švarios dujos turi būti transportuojamos į terminalą dujotiekiais. Norint įvykdyti dujoms keliamus proceso kokybės reikalavimus, kai dujų eksporto indeksas yra tikras, labiau reikia atkreipti dėmesį į vamzdynų sistemos medžiagų pasirinkimą ir konstrukcijos kokybę. Be dujų gamybos ar valymo įrangos tikslumo, jam didelę įtaką daro daugelis dujotiekio sistemos veiksnių. Todėl renkantis vamzdžius reikia laikytis atitinkamų valymo pramonės principų ir brėžiniuose pažymėti vamzdžių medžiagą.
02 Didelio grynumo vamzdynų reikšmė dujų transportavimui
Didelio grynumo vamzdynų reikšmė didelio grynumo dujų transportavimui Nerūdijančio plieno lydymo proceso metu kiekviena tona gali sugerti apie 200 g dujų. Apdorojus nerūdijantį plieną, ant jo paviršiaus ne tik prilimpa įvairūs teršalai, bet ir jo metalinėse grotelėse sugeriamas tam tikras kiekis dujų. Kai vamzdynu praeina oro srautas, metalo sugerta dujų dalis vėl pateks į oro srautą ir užterš grynas dujas.
Kai oro srautas vamzdyje yra nenutrūkstamas, vamzdis formuoja slėgio adsorbciją ant pratekančių dujų. Kai oro srautas nustoja praeiti, vamzdžio adsorbuotos dujos sudaro slėgio mažinimo analizę, o analizuojamos dujos taip pat patenka į grynas dujas vamzdyje kaip priemaiša.
Tuo pačiu metu dėl adsorbcijos ir analizės ciklo metalas, esantis ant vamzdžio vidinio paviršiaus, gamins tam tikrą kiekį miltelių. Šios metalo dulkių dalelės taip pat užteršia grynas dujas vamzdyje. Ši vamzdžio savybė yra labai svarbi. Siekiant užtikrinti transportuojamų dujų grynumą, ne tik būtina, kad vamzdžio vidinis paviršius būtų itin lygus, bet ir būtų atsparus dilimui.
Kai dujos pasižymi stipriomis korozinėmis savybėmis, vamzdynams reikia naudoti korozijai atsparius nerūdijančio plieno vamzdžius. Priešingu atveju dėl korozijos ant vamzdžio vidinio paviršiaus atsiras korozijos dėmės. Sunkiais atvejais dideli metalo gabalai atsilups arba net perforuos, taip užteršdami gabenamas grynas dujas.
03 Vamzdžių medžiaga
Vamzdžio medžiagos pasirinkimas turi būti parenkamas atsižvelgiant į naudojimo poreikius. Vamzdžio kokybė paprastai matuojama pagal vamzdžio vidinio paviršiaus šiurkštumą. Kuo mažesnis šiurkštumas, tuo mažesnė tikimybė, kad jame bus dalelių. Paprastai skirstomi į tris tipus:
Vienas yraEP klasės 316L vamzdis, kuris buvo nupoliruotas elektrolitiniu būdu (Electro-Polish). Jis yra atsparus korozijai ir turi mažą paviršiaus šiurkštumą. Rmax (maksimalus smailės ir slėnio aukštis) yra apie 0,3 μm arba mažesnis. Jis turi didžiausią plokštumą ir nėra lengvas mikro sūkurinių srovių susidarymas. Pašalinkite užterštas daleles. Šiame procese naudojamos reakcijos dujos turi būti tiekiamos vamzdžiais.
Vienas yra aBA laipsnis 316Lvamzdis, kuris buvo apdorotas Bright Anneal ir dažnai naudojamas dujoms, kurios liečiasi su lustu, bet nedalyvauja proceso reakcijoje, pvz., GN2 ir CDA. Vienas iš jų yra AP vamzdis (atkaitinimas ir surinkimas), kuris nėra specialiai apdorotas ir paprastai naudojamas dvigubiems išorinių vamzdžių rinkiniams, kurie nenaudojami kaip dujų tiekimo linijos.
04 Dujotiekio tiesimas
Vamzdžio angos apdirbimas yra vienas pagrindinių šios statybos technologijos aspektų. Dujotiekio pjovimas ir paruošimas atliekamas švarioje aplinkoje, tuo pačiu užtikrinama, kad prieš pjaunant dujotiekio paviršiuje nebūtų jokių kenksmingų žymių ar pažeidimų. Prieš atidarant dujotiekį, reikia pasiruošti azoto praplovimui dujotiekyje. Iš esmės suvirinimas naudojamas didelio grynumo ir švaros dujų perdavimo ir skirstomiesiems vamzdynams su dideliu srautu sujungti, tačiau tiesioginis suvirinimas neleidžiamas. Turi būti naudojamos korpuso jungtys, o naudojamos vamzdžio medžiagos struktūra suvirinimo metu neturi keistis. Jei suvirinama medžiaga, kurioje yra per daug anglies, dėl suvirinimo dalies oro pralaidumo vamzdžio viduje ir išorėje esančios dujos prasiskverbs viena į kitą, o tai sunaikins tiekiančių dujų grynumą, sausumą ir švarumą, o tai sukels rimtų pasekmių. ir paveikti gamybos kokybę.
Apibendrinant galima pasakyti, kad didelio grynumo dujotiekiams ir specialiems magistraliniams dujotiekiams turi būti naudojamas specialiai apdorotas didelio grynumo nerūdijančio plieno vamzdis, dėl kurio didelio grynumo vamzdynų sistema (įskaitant vamzdynus, vamzdžių jungiamąsias detales, vožtuvus, VMB, VMP) užima gyvybiškai svarbi didelio grynumo dujų paskirstymo misija.
Paskelbimo laikas: 2024-11-26