As puslaidininkisTobulėjant mikroelektronikos technologijoms siekiant didesnio našumo ir didesnės integracijos, elektroninių specialiųjų dujų grynumui keliami didesni reikalavimai. Didelio grynumo dujų vamzdynų technologija yra svarbi didelio grynumo dujų tiekimo sistemos dalis. Tai pagrindinė technologija, skirta tiekti didelio grynumo dujas, kurios atitinka reikalavimus, į dujų naudojimo vietas, kartu išlaikant tinkamą kokybę.
Didelio grynumo vamzdynų technologija apima teisingą sistemos projektavimą, vamzdžių jungiamųjų detalių ir pagalbinių medžiagų parinkimą, konstrukciją ir montavimą bei bandymus.
01Bendra dujų perdavimo vamzdynų koncepcija
Visos labai grynos ir labai švarios dujos turi būti transportuojamos į dujų terminalą vamzdynais. Siekiant atitikti dujų proceso kokybės reikalavimus, kai dujų eksporto indeksas yra aiškus, reikia atkreipti dėmesį į vamzdynų sistemos medžiagų pasirinkimą ir konstrukcijos kokybę. Be dujų gamybos ar valymo įrangos tikslumo, jam didelę įtaką daro daugelis vamzdynų sistemos veiksnių. Todėl renkantis vamzdžius reikia laikytis atitinkamų valymo pramonės principų ir brėžiniuose pažymėti vamzdžių medžiagą.
02Aukšto grynumo vamzdynų reikšmė dujų transportavimui
Didelio grynumo vamzdynų reikšmė transportuojant didelio grynumo dujas. Lydant nerūdijantį plieną, kiekviena tona gali absorbuoti apie 200 g dujų. Po nerūdijančio plieno apdorojimo ant jo paviršiaus ne tik prilimpa įvairių teršalų, bet ir tam tikras kiekis dujų absorbuojamas jo metalinėje gardelėje. Kai vamzdynu teka oro srautas, metalo absorbuota dujų dalis vėl pateks į oro srautą ir užterš grynas dujas.
Kai oro srautas vamzdyje yra nutrūkstamas, vamzdyje susidaro slėgio adsorbcija ant praeinančių dujų. Kai oro srautas nustoja tekėti, vamzdžio adsorbuotos dujos sudaro slėgio mažinimo analizę, o analizuojamos dujos taip pat patenka į grynas dujas vamzdyje kaip priemaiša.
Tuo pačiu metu adsorbcijos ir analizės ciklo metu metalas, esantis ant vamzdžio vidinio paviršiaus, išskiria tam tikrą kiekį miltelių. Šios metalo dulkių dalelės taip pat užteršia grynas dujas vamzdyje. Ši vamzdžio savybė yra labai svarbi. Siekiant užtikrinti transportuojamų dujų grynumą, vidinis vamzdžio paviršius turi būti ne tik itin lygus, bet ir labai atsparus dilimui.
Kai dujos pasižymi stipriomis korozinėmis savybėmis, vamzdynams turi būti naudojami korozijai atsparūs nerūdijančio plieno vamzdžiai. Priešingu atveju dėl korozijos vamzdžio vidiniame paviršiuje atsiras korozijos dėmių. Sunkiais atvejais dideli metalo gabalai gali nusilupti arba net pradurti, taip užteršdami transportuojamas grynas dujas.
03Vamzdžio medžiaga
Vamzdžio medžiagą reikia pasirinkti atsižvelgiant į naudojimo poreikius. Vamzdžio kokybė paprastai matuojama pagal vamzdžio vidinio paviršiaus šiurkštumą. Kuo mažesnis šiurkštumas, tuo mažesnė tikimybė, kad jame bus dalelių. Paprastai skirstoma į tris tipus:
Vienas yraEP klasės 316L vamzdis, kuris buvo elektroliziniu būdu poliruotas (elektropoliravimas). Jis atsparus korozijai ir pasižymi mažu paviršiaus šiurkštumu. Rmax (didžiausias smailės ir įdubos aukštis) yra apie 0,3 μm arba mažesnis. Jis pasižymi didžiausiu lygumu ir jame nelengva susidaryti mikro sūkurinėms srovėms. Pašalinkite užterštas daleles. Procese naudojamos reakcijos dujos turėtų būti tiekiamos šiame lygyje.
Vienas yraBA klasės 316LVamzdis, apdorotas „Bright Anneal“ technologija ir dažnai naudojamas dujoms, kurios liečiasi su lustu, bet nedalyvauja proceso reakcijoje, pvz., GN2 ir CDA. Vienas iš jų yra AP vamzdis (atkaitinimas ir separavimas), kuris nėra specialiai apdorotas ir paprastai naudojamas dvigubiems išorinių vamzdžių rinkiniams, kurie nenaudojami kaip dujų tiekimo linijos.
04 Vamzdynų tiesimas
Vamzdžio angos apdirbimas yra vienas iš pagrindinių šios statybos technologijos aspektų. Vamzdyno pjovimas ir išankstinis surinkimas atliekami švarioje aplinkoje, tuo pačiu metu užtikrinant, kad prieš pjovimą ant vamzdyno paviršiaus nebūtų jokių kenksmingų žymių ar pažeidimų. Prieš atidarant vamzdyną, reikia atlikti paruošiamuosius darbus azoto praplovimui vamzdyne. Iš esmės, didelio grynumo ir švaros dujų perdavimo ir paskirstymo vamzdynams, turintiems didelį srautą, sujungti naudojamas suvirinimas, tačiau tiesioginis suvirinimas neleidžiamas. Turi būti naudojamos apvalkalinės jungtys, o naudojama vamzdžių medžiaga suvirinimo metu neturi keisti struktūros. Jei suvirinama medžiaga su per dideliu anglies kiekiu, dėl suvirinimo detalės oro pralaidumo dujos vamzdžio viduje ir išorėje prasiskverbs viena į kitą, sunaikindamos transportuojančių dujų grynumą, sausumą ir švarą, o tai sukels rimtų pasekmių ir paveiks gamybos kokybę.
Apibendrinant galima teigti, kad didelio grynumo dujų ir specialiųjų dujų perdavimo vamzdynams turi būti naudojamas specialiai apdorotas didelio grynumo nerūdijančio plieno vamzdis, todėl didelio grynumo vamzdynų sistema (įskaitant vamzdynus, vamzdžių jungiamąsias detales, vožtuvus, VMB, VMP) atlieka gyvybiškai svarbią misiją didelio grynumo dujų paskirstyme.
Įrašo laikas: 2024 m. lapkričio 26 d.